氦质谱真空气密性检漏仪简介

氦质谱真空气密性检漏仪简介

氦质谱真空气密性检漏仪是以气态氦为示漏气体的各种负压真空检漏仪器的总称，包括传统的氦质谱真空检漏仪，反流式氦质谱真空检漏仪和寄生式氦质谱真空检漏仪等。前两种真空检漏仪体积较大，不宜搬动，通常用于工厂或研究所；后一种气密性检漏仪不需要配置独立抽真空设备，可以做成便携式，便于随身携带，现场检漏比较方便。

氦质谱真空气密性检漏仪的基本检漏原理是：将检漏仪的真空室与被检真空系统接为联通腔体，并将系统抽至一定的真空状态，启动检漏仪，然后在被检真空系统的可疑漏点处喷涂气体氢。若有微漏细孔，则气体氮就会被吸入真空腔内，当氮质谱真空气密性检漏仪在联通腔内检测到氦的气体分子，就证明此处有微漏点。

气密性检漏仪采用氦气作为示漏气体，其原因如下：1.空气中氦的含量很少，只有约1/250000，在一般真空系统的残余气体中，氦的含量也很少，故氦的本底含量很低，可以得到较高的检漏灵敏度。2.氦是惰性气体，不会污染环境。3.氦的分子小、质量轻，通过微漏孔的速率约是空气的2.7倍，检漏灵敏度高。4.质量数相近的气体(例如氢、氮等)与氦的特性差别较大，易于分离鉴别。

近年来生产的氦质谱检漏仪一般都具有自动控制系统，能够自动完成上述检漏过程，而且能够与检漏仪自身带有的氦标准漏孔的漏率相比较，准确显示被检件漏孔的漏率，使用很方便。